[发明专利]多晶硅制造装置以及制造方法

摘要

一种多晶硅制造装置，在立设有多个的硅芯棒(4)的反应炉(1)的内底部上配设向该反应炉(1)内将原料气体向上方喷出的多个的气体供给口(6a)、和将反应后的排气排出的气体排出口(7)，加热硅芯棒(4)，在其表面上利用原料气体而析出多晶硅，其中在气体供给口(6a)上，供给原料的气体分配管(9)分别与各气体供给口(6a)连接，并且至少在与反应炉(1)的中心部附近的气体供给口(6a)连接的气体分配管(9)上设置有开闭其管路的阀(21)，在该阀(21)上连接有在反应炉(1)的运转初期令管路成为关闭既定时间状态的阀控制机构(22)。

主权项

1. 一种多晶硅制造装置，在立设有多个的硅芯棒的反应炉的内底部上，配设有向该反应炉内将原料气体向上方喷出的多个的气体供给口、和排出反应后的排气的气体排出口，加热上述硅芯棒，利用上述原料气体而在该硅芯棒的表面上析出多晶硅，该多晶硅制造装置的特征在于，在上述气体供给口上，供给原料气体的气体分配管分别与各气体供给口连接，并且至少在与反应炉的中心部附近的气体供给口连接的气体分配管上设置有开闭其管路的阀，在该阀上连接有阀控制机构，该阀控制机构在反应炉的运转初期令管路变为关闭既定时间状态。