[发明专利]用于平板印刷仿真的系统和方法有效
申请号: | 200810178751.7 | 申请日: | 2004-09-07 |
公开(公告)号: | CN101419411A | 公开(公告)日: | 2009-04-29 |
发明(设计)人: | 叶军;卢彦文;曹宇;陈洛祁;陈恂 | 申请(专利权)人: | 睿初科技公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F1/14;G03F1/00;G06F17/50 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 王新华 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及一种技术和系统,用于仿真、验证、检查、特征化、确定和/或评价平板印刷设计、技术和/或系统以及/或者由此执行的单独功能或其中使用的部件;加速了平板印刷系统和处理技术的光学特征和/或属性以及效果和/或相互作用的平板印刷仿真、检查、特征化和/或评价。在这点上,本发明利用包括专用硬件加速器的平板印刷仿真系统架构和包括整个平板印刷工艺的具体仿真和特征化的用以加速和促进掩模设计的处理技术。系统包括:一个或多个通用型计算装置,用以在数据处理中执行具有分支和相互依赖的基于范例的逻辑,以及加速器子系统,用以执行多数计算密集任务。 | ||
搜索关键词: | 用于 平板 印刷 仿真 系统 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种用于对集成电路设计的平板印刷处理进行仿真的系统,所述系统包括:微处理器子系统,用以执行所述仿真的第一部分;和共同处理的加速器,耦合到所述微处理器子系统,用以执行所述仿真的第二部分,所述第二部分包括计算所述集成电路设计的空中图像的至少一部分,其中所述共同处理的加速器包括多个构造成并行地执行所述第二部分的处理器。
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