[发明专利]一种提成多晶硅品质的技术

摘要

一种提成多晶硅品质的技术属于环保技术领域，是涉及一种提成多晶硅品质的技术的改进。本发明就是提供一种通过控制高纯水品质提成多晶硅品质的技术。本发明电阻率在18MΩ·cm以上(90％时间)不低于17MΩ·cm(25℃)，全硅最大值0.1μg/L，微粒数最大值为0.1个/mL，细菌个数最大值为0.001个/mL，Cu2+最大值为1μg/L，Zn2+最大值为0.5μg/L，Ni+最大值为0.1μg/L；Na+最大值为0.5μg/L，K+最大值为2μg/L，Cl-最大值为1μg/L，NO3-最大值为1μg/L，PO43-最大值为1μg/L，SO42-最大值为1μg/L，TOC最大值为1μg/L，细菌内毒素为0.03(E.U.)。

主权项

一种提成多晶硅品质的技术，其特征在于本发明电阻率在18MΩ·cm以上(90％时间)不低于17MΩ·cm(25℃)，全硅最大值0.1μg/L，微粒数最大值为0.1个/mL，细菌个数最大值为0.001个/mL，Cu2+最大值为1μg/L，Zn2+最大值为0.5μg/L，Ni+最大值为0.1μg/L；Na+最大值为0.5μg/L，K+最大值为2μg/L，Cl-最大值为1μg/L，NO3-最大值为1μg/L，PO43-最大值为1μg/L，SO42-最大值为1μg/L，TOC最大值为1μg/L，细菌内毒素为0.03(E.U.)。