[发明专利]显影液涂布装置无效
| 申请号： | 200810179629.1 | 申请日： | 2002-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN101424886A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 吉原孝介;田中启一;山本太郎;京田秀治;竹口博史;大河内厚 | 申请（专利权）人： | 东京威力科创股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨松龄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种显影液涂布装置，包括：显影液喷嘴；送出规定浓度的显影液的第一送出装置；送出纯水或与从第一送出装置送来的显影液浓度不同的显影液的第二送出装置；显影液喷嘴具有：贮存从第一送出装置送来的显影液的第一液体贮存室；贮存从第二送出装置送来的纯水或显影液的第二液体贮存室；液体混合室，具有显影液喷出口并连通第一液体贮存室和第二液体贮存室；连通第一液体贮存室和液体混合室的第一通路；连通第二液体贮存室和液体混合室的第二通路；从显影液喷出口喷出显影液或纯水或浓度不同的显影液，在液体混合室中混合第一液体贮存室中贮存的显影液和第二液体贮存室中贮存的纯水或浓度不同的显影液来调制规定浓度的显影液，从显影液喷出口喷出。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种向衬底上的实施了曝光处理的抗蚀剂膜涂布显影液的显影液涂布装置，其特征在于，该显影液涂布装置包括：具有在一个方向上长的形状、沿其纵向呈带状喷出显影液的显影液喷嘴；向所述显影液喷嘴送出规定浓度的显影液的第一送出装置；向所述显影液喷嘴送出纯水或与从所述第一送出装置送来的显影液浓度不同的显影液的第二送出装置；所述显影液喷嘴具有：贮存从所述第一送出装置送来的显影液的第一液体贮存室；贮存从所述第二送出装置送来的纯水或显影液的第二液体贮存室；液体混合室，该液体混合室在下端具有喷出显影液或纯水的显影液喷出口并且连通所述第一液体贮存室和所述第二液体贮存室；连通所述第一液体贮存室和所述液体混合室的第一通路；连通所述第二液体贮存室和所述液体混合室的第二通路；其中，分别从所述显影液喷出口喷出所述显影液或者纯水或者所述浓度不同的显影液，在所述液体混合室中混合所述第一液体贮存室中贮存的显影液和所述第二液体贮存室中贮存的纯水或浓度不同的显影液来调制规定浓度的显影液，从所述显影液喷出口喷出。
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