[发明专利]改进的三维掩膜编程只读存储器有效
申请号: | 200810181778.1 | 申请日: | 2002-09-30 |
公开(公告)号: | CN101546605A | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
发明(设计)人: | 张国飙 | 申请(专利权)人: | 张国飙 |
主分类号: | G11C17/10 | 分类号: | G11C17/10;H01L27/112 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610051四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提出一种改进的三维掩膜编程只读存储器,它的至少部分地址线由掺杂的半导体材料构成,且不含金属膜、合金膜或金属化合物膜。它具有较好的可制造性。 | ||
搜索关键词: | 改进 三维 编程 只读存储器 | ||
【主权项】:
1. 一种改进的三维掩膜编程只读存储器,其特征在于含有:一衬底;多个叠置在衬底上的只读存储层,所述只读存储层通过多个接触通道口与衬底实现电连接;至少一个存储层含有多条地址选择线,至少一部分所述地址选择线由掺杂的半导体材料构成,且不含有单独的金属膜、合金膜或金属化合物膜。
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