[发明专利]用于阵列测试装置的光卡盘有效
| 申请号： | 200810181782.8 | 申请日： | 2008-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN101655528A | 公开（公告）日： | 2010-02-24 |
| 发明（设计）人： | 张文柱 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了用于阵列测试装置的光卡盘，该光卡盘防止了基板偏斜并因此不会在基板上造成刮痕。该光卡盘包括：测试单元，待测试的基板设置于该测试单元上；引导槽，沿与传送基板的方向垂直的方向形成在测试单元的前部或后部附近；至少一个气孔，形成在引导槽中，并排出空气以将基板浮起；以及空气引导件，布置在气孔上方，其中，从所述至少一个气孔排出的空气与空气引导件碰撞并被引导至引导槽。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 阵列 测试 装置 卡盘 | ||
【主权项】：
1.一种用于阵列测试装置的光卡盘，包括：测试单元，待测试的基板设置于所述测试单元上；引导槽，沿与传送所述基板的方向垂直的方向形成在所述测试单元的前部或后部附近；至少一个气孔，形成在所述引导槽中，并排出空气以将所述基板浮起；以及空气引导件，布置在所述气孔上方，其中，从所述至少一个气孔排出的空气与所述空气引导件碰撞并被引导至所述引导槽。
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