[发明专利]多晶硅制造方法有效
| 申请号： | 200810181949.0 | 申请日： | 2008-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101445959A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 远藤俊秀;手计昌之;石井敏由记;坂口昌晃;畠山直纪 | 申请（专利权）人： | 三菱麻铁里亚尔株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C01B33/03;C30B28/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅的制造方法，在将立设在反应炉内的多个硅芯棒加热、通过从反应炉的内底部的气体喷出口喷出的原料气体使多晶硅析出到硅芯棒的表面上的多晶硅的制造方法中，具有使从气体喷出口的原料气体的喷出速度逐渐上升的运转初期的稳定化阶段、然后在使上述喷出速度以比上述稳定化阶段大的上升度暂时上升后、以比上述稳定化阶段小的上升度逐渐上升的形状阶段、和在经过该形状阶段后使上述喷出速度比上述形状阶段的结束时小的成长阶段。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种多晶硅的制造方法，是将立设在反应炉内的多个硅芯棒加热、通过从反应炉的内底部的气体喷出口喷出的原料气体使多晶硅析出到上述硅芯棒的表面上的多晶硅的制造方法，其特征在于，具有使从上述气体喷出口的原料气体的喷出速度逐渐上升的运转初期的稳定化阶段、然后在使上述喷出速度以比上述稳定化阶段大的上升度暂时上升后、以比上述稳定化阶段小的上升度逐渐上升的形状阶段、和在经过该形状阶段后使上述喷出速度比上述形状阶段的结束时小的成长阶段。
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