[发明专利]含磷类金刚石碳复合薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200810182212.0 | 申请日： | 2008-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN101736378A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 薛群基;王立平;万善宏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C25D9/08 | 分类号： | C25D9/08;H01J1/304 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含磷类金刚石碳复合薄膜的制备方法。该方法将三苯基膦的甲醇溶液作为电解液，在电解反应器中，调节电解液的温度在30～45℃间，将单晶硅片固定在石墨片上作阴极，石墨作阳极，采用直流高电压700～1000V作用，沉积时间为2～10小时得到复合薄膜。复合薄膜具有良好的场发射性能。 | ||
| 搜索关键词： | 含磷类 金刚石 复合 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种含磷类金刚石碳复合薄膜的制备方法，其特征在于该方法将三苯基膦的甲醇溶液作为电解液，在电解反应器中，调节电解液的温度在30～45℃间，将单晶硅片固定在石墨片上作阴极，石墨作阳极，采用直流高电压700～1000V作用，沉积时间为2～10小时得到复合薄膜。
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