[发明专利]激光加工设备、激光加工方法和设置激光加工设备的方法

摘要

本发明涉及激光加工设备、激光加工方法和设置激光加工设备的方法。本发明的目的是能容易地调整焦点位置以处理热透镜效应。提供了激光扫描部分，该激光扫描部分包括能够调整激光在光轴方向上的焦点位置的Z轴扫描器、X轴扫描器和Y轴扫描器。而且，提供了激光驱动部、加工条件设置部分和校正量确定部分，其中激光驱动部分用于控制激光振荡部分和激光扫描部分，加工条件设置部分用于设置激光输出条件和加工图案作为以期望的加工图案进行加工的加工条件，以及校正量确定部分用于根据加工条件设置部分所设置的激光输出条件，将由热透镜效应引起的焦点位置在光轴方向上的偏移确定为焦点位置校正量。在激光照射期间，激光驱动控制部分以将校正量确定部分所确定的焦点位置校正量加到加工条件设置部分所设置的加工条件上的方式扫描激光。

主权项

1. 一种激光加工设备，其能够将激光引导到待加工表面上来以期望的加工图案执行加工，该激光加工设备包括：激光振荡部分，该激光振荡部分用于产生激光；激光扫描部分，该激光扫描部分用于在工作区域内扫描从所述激光振荡部分发出的激光，该激光扫描部分包括Z轴扫描器、X轴扫描器和Y轴扫描器，其中Z轴扫描器包括入射透镜和出射透镜，并且在入射透镜和出射透镜的光轴与从所述激光振荡部分发出的激光的光轴重合的状态下，能够改变入射透镜和出射透镜之间沿它们的光轴的相对距离，以调整激光在光轴方向上的焦点位置，以及X轴扫描器和Y轴扫描器用于在X轴方向和Y轴方向上扫描通过Z轴扫描器的激光；激光驱动控制部分，该激光驱动控制部分用于控制所述激光振荡部分和激光扫描部分；加工条件设置部分，该加工条件设置部分用于设置激光输出条件和加工图案来作为用于按照期望的加工图案进行加工的加工条件；校正量确定部分，该校正量确定部分基于加工条件设置部分所设置的激光输出条件，将由热透镜效应所引起的焦点位置在光轴方向上的偏移确定为焦点位置校正量；其中，在激光照射期间，所述激光驱动控制部分使激光扫描以如下方式进行，即将所述校正量确定部分所确定的焦点位置校正量加到由所述加工条件设置部分设置的加工条件。