[发明专利]双滚轮非接触式厚度测量系统有效
申请号: | 200810184022.2 | 申请日: | 2008-12-09 |
公开(公告)号: | CN101750010A | 公开(公告)日: | 2010-06-23 |
发明(设计)人: | 江峰庆 | 申请(专利权)人: | 财团法人精密机械研究发展中心 |
主分类号: | G01B7/06 | 分类号: | G01B7/06 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 王宏伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种双滚轮非接触式厚度测量系统,系于一机体上配置互相平行的一第一滚轮与一第二滚轮,一基准导电板固定地配置在第一滚轮及第二滚轮之间,以及一位移传感器,例如涡电流-电容位移传感器,配置在基准导电板上方,且位移传感器能够沿着基准导电板的长向移动;一待测量物,例如一薄膜或一板材位于该第一滚轮与该第二滚轮顶缘且不接触基准导电板,而位移传感器可以自基准导电板与待测量物表面分别撷取一测量讯号用以计算得到待测量物的厚度。如此可以使该厚度测量系统具有低的制造与使用成本。 | ||
搜索关键词: | 滚轮 接触 厚度 测量 系统 | ||
【主权项】:
一种双滚轮非接触式厚度测量系统,其特征在于:其包含:一第一滚轮;一第二滚轮,系配置成平行该第一滚轮;一基准导电板,系固定地配置在该第一滚轮及该第二滚轮之间;一位移传感器,系配置该基准导电板的上方,且能够沿着该基准导电板的长向移动。
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