[发明专利]改进的三维只读存储器无效
申请号: | 200810184151.1 | 申请日: | 2002-09-30 |
公开(公告)号: | CN101552273A | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 张国飙 | 申请(专利权)人: | 张国飙 |
主分类号: | H01L27/06 | 分类号: | H01L27/06;H01L27/112;H01L27/115;H01L23/532 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610051四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提出一种改进的三维只读存储器,它的至少部分地址线由掺杂的半导体材料构成,不含单独的金属膜、合金膜或金属化合物膜,所述掺杂的半导体材料含有由金属离子注入法引入的金属。它具有较好的可制造性。 | ||
搜索关键词: | 改进 三维 只读存储器 | ||
【主权项】:
1.一种改进的三维只读存储器,其特征在于含有:一衬底;多个叠置在衬底上的只读存储层,所述只读存储层通过多个接触通道口与衬底实现电连接;至少一个存储层含有多条地址选择线,至少一部分所述地址选择线由掺杂的半导体材料构成,且不含有单独的金属膜、合金膜或金属化合物膜,所述掺杂的半导体材料含有由金属离子注入法引入的金属。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的