[发明专利]阴极放电装置有效
| 申请号： | 200810184386.0 | 申请日： | 2008-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN101752171A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 董福庆;沈添沐;何荣振;吴佩珊;陈家铭;陈冠州;简荣祯;梁沐旺 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是提供一种阴极放电装置，其包括一阳极、一阴极以及多个阴极腔室。其中该阴极位于该阳极内，该阴极内部具有多个气体流道及至少一流道通孔，其中该多个气体流道经由该流道通孔相通；该多个阴极腔室位于该阴极内，每一该阴极腔室具有一腔室气体入口与一腔室气体出口，每一该阴极腔室经由该腔室气体入口与该气体流道相通。本发明可应用于太阳能电池等光电装置的大面积薄膜制程的中空阴极放电的电浆源装置，通过工作气体流道的稳压作用，电浆具有高均匀度与高解离度的特性，并可提高成膜速率，大幅提升太阳能电池等光电装置的制造技术、产品性能、产品的质量稳定性及质量可靠度，并显著降低生产成本，造福大众使用者。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 放电 装置 | ||
【主权项】：
一种阴极放电装置，其特征在于，包括：一阳极；一阴极，位于该阳极内，该阴极内部具有多个气体流道及至少一流道通孔，该多个气体流道经由该流道通孔相通；以及多个阴极腔室，位于该阴极内，每一该阴极腔室具有一腔室气体入口与一腔室气体出口，且每一该阴极腔室经由其腔室气体入口与该气体流道相通。
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