[发明专利]清洗装置无效
| 申请号： | 200810186209.6 | 申请日： | 2008-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101664748A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 吴泰英;李辉宰;金健勇;李殷河 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;B08B7/04;B65G49/00;B08B1/00;B08B5/00;B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种稳定地清洗基板的清洗装置。该清洗装置包括引导从外部供给的基板沿正确方向进入的基板入口引导单元；由所述基板入口引导单元供给所述基板以清除在所述基板上形成的灰尘的灰尘清除单元；由所述灰尘清除单元供给所述基板以清洗掉残留在所述基板上的残余灰尘的灰尘清洗单元；和控制从所述灰尘清洗单元卸下的所述基板的位置的位置控制单元。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
1.一种清洗装置，包括：引导从外部供给的基板沿正确方向进入的基板入口引导单元；由所述基板入口引导单元供给所述基板以清除在所述基板上形成的灰尘的灰尘清除单元；由所述灰尘清除单元供给所述基板以清洗掉残留在所述基板上的残余灰尘的灰尘清洗单元；和控制从所述灰尘清洗单元卸下的所述基板的位置的位置控制单元。
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