[发明专利]一种提高氧化锌薄膜性能的方法有效

专利信息
申请号: 200810186296.5 申请日: 2008-12-22
公开(公告)号: CN101457340A 公开(公告)日: 2009-06-17
发明(设计)人: 王云飞;陈学康;杨生胜;李中华;郑阔海;王兰喜;冯展祖;高欣 申请(专利权)人: 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 北京理工大学专利中心 代理人: 张利萍
地址: 73000*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要: 发明公开了一种提高氧化锌薄膜性能的方法,属于表面工程技术领域。在27℃下,将在基底温度为200℃~300℃间镀制的氧化锌薄膜放置于真空室中并通入纯度为99.99%的氧气,之后通过同轴放电组件将微波输入真空室中,使氧气在同轴放电腔中放电,形成氧等离子体。对在同轴放电腔前放置的金属板上加10V偏压,使氧等离子体中的氧离子与金属板碰撞获得电子,从而形成原子氧,将原子氧反射至样品架处与氧化锌薄膜发生作用。采用本发明改善的氧化锌薄膜可在压电传感器,光学波导,表面超声波装置,气体传感器以及太阳能电池等器件的制备上得到广泛应用。
搜索关键词: 一种 提高 氧化锌 薄膜 性能 方法
【主权项】:
1、一种提高氧化锌薄膜性能的方法,其特征在于步骤如下:步骤一、将在基底温度为200℃~300℃间镀制的氧化锌薄膜装在试样架上送入真空室,并对真空室进行抽真空操作,使真空室压力达到4×10-4Pa以上;步骤二、将纯度为99.99%的氧气通过气体流量控制器送入真空室中,使真空室中的压力保持在3×10-1Pa;步骤三、通过同轴放电组件将微波输入真空室中,使氧气在同轴放电腔中放电,形成氧等离子体;步骤四、对在同轴放电腔前放置的金属板上加10V偏压,使氧等离子体中的氧离子与金属板碰撞获得电子,从而形成原子氧,将原子氧反射至样品架处与氧化锌薄膜发生作用,作用的时间要求不少于45min;上述处理过程均在27℃室温下进行。
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