[发明专利]端面处理用夹具以及使用其的半导体激光装置的制造方法无效
| 申请号： | 200810186306.5 | 申请日： | 2008-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN101483316A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 中川康幸 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | H01S5/00 | 分类号： | H01S5/00;C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 闫小龙;王小衡 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种端面处理用夹具以及使用该夹具的半导体激光装置的制造方法，该夹具能够防止半导体激光装置的光学灾变性损坏劣化，并能够在半导体激光装置本体的端面上形成反射率控制膜。以氧化物和氮化物中的至少一方构成端面处理用夹具(3)的窗部(5)，以使得端面从窗部(5)的窗口(4)露出的方式固定半导体激光条(1)。在此状态下，在半导体激光条(1)的端面(9)上形成反射率控制膜，制造半导体激光装置。由此，因为能够防止金属被引入反射率控制膜中，从而防止被引入的金属导致的光吸收，所以能够防止半导体激光装置的光学灾变性损坏劣化，并能够在半导体激光条(1)的端面(9)上形成反射率控制膜。 | ||
| 搜索关键词： | 端面 处理 夹具 以及 使用 半导体 激光 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种端面处理用夹具，是为了在半导体激光装置本体的端面上形成反射率控制膜并制造半导体激光装置而固定半导体激光装置本体的端面处理用夹具，其特征在于，具有窗部，该窗部形成有露出半导体激光装置本体的端面的窗口，至少窗部是由氧化物和氮化物中的至少一方构成。
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