[发明专利]从掩模板移除护膜的装置和方法

摘要

本发明涉及一种从可用于光刻的掩模板移除护膜的装置和方法。本发明的目的是提供以通用的方式能够从掩模板移除护膜的可能性，而不进一步污染或者损伤掩模板。在本方明的装置中至少设有一个手柄，用于操作设有护膜的掩模板，所述手柄具有至少两个固定元件，通过施加的压力接合在一掩模板的边缘；此外在这种环境下，至少设有一个探测器，用于非接触地确定形成于护膜的径向外边缘的支座的位置；一加热装置，用于加热粘合剂，护膜通过所述粘合剂材料连续性地与一掩模板固紧；以及一从一掩模板移除所述护膜的移除装置，具有一掩模板固定部件和一护膜移除部件。

主权项

1、一种从可用于光刻的掩模板移除护膜的装置，其中具有至少一个固紧手柄(3)，用于操作设有护膜(2)的掩模板(1)，所述手柄具有至少两个固定元件(3.1)，其通过施加的压力接合在掩模板(1)的边缘；至少一个探测器(4)，用于非接触地确定形成于护膜(2)的径向外边缘的支座(2.1)的位置；一加热装置，用于加热粘合剂，护膜(2)通过所述粘合剂以材料连续性地与掩模板(1)固紧；以及一从掩模板(1)移除所述护膜(2)的移除装置，其具有一掩模板固定部件和一护膜移除部件(5)。