[发明专利]液晶显示器件及其制造方法

摘要

本发明披露了一种液晶显示器及其制造方法。通过使用半色调掩模有选择地将感光膜图案进行构图，然后有选择地去除像素区域处钝化层的一部分，以获得剥离液的渗入路径。此外，通过一定的热处理在感光膜图案上所形成的导电膜上产生裂缝，便于剥离工艺。因此，能减少掩模次数，从而简化制造过程，并降低制造成本。通过使钝化层掩模采用半色调，可使用常规的四次掩模工序，因为通过热处理在导电膜上形成裂缝，因此在剥离液的渗入路径处易于执行剥离工艺。

主权项

1.一种用于制造液晶显示器的方法，包括：提供分割成像素部以及数据和栅焊盘部的第一基板；通过第一掩模工序在所述第一基板的像素部形成栅极和栅线；在所述第一基板上形成绝缘层；通过第二掩模工序在所述第一基板的所述像素部形成有源图案和源极/漏极，并形成与所述栅线相交的数据线以限定像素区域；在所述第一基板上形成钝化层；通过第三掩模工序在所述钝化层上形成具有第一厚度的第一到第三感光膜图案和具有第二厚度的第四感光膜图案；通过使用第一到第四感光膜图案作为掩模有选择地去除所述钝化层的一部分以形成暴露出一部分漏极的第一接触孔；去除所述第四感光膜图案，同时形成具有第三厚度的第五到第七感光膜图案；通过使用所述第五到第七感光膜图案作为掩模，去除所述钝化层的厚度的一部分；在所述第一基板的整个表面上形成透明导电膜；通过对所述第一基板进行热处理，在所述导电膜上形成裂缝；去除第三到第五感光膜图案，同时去除所述第三到第五感光膜图案上的所述透明导电膜，形成通过所述第一接触孔与所述漏极电连接的像素电极；以及将所述第一基板与第二基板进行粘接。