[发明专利]用于超高真空系统的中空阳极离子源

摘要

本发明公开了一种用于超高真空系统的中空阳极离子源。它的阴极(8)下部为水冷腔(10)、上部为离化室(28)，其外依次套装绝缘套和金属套筒，水冷腔(10)下端口为贯通焊接有进水管(20)和出水管(21)的盖板(11)，出水管(21)经水管绝缘套(23)、水管密封圈(25)与法兰(13)绝缘密封连接，离化室(28)底部连通有其下端部位于气管孔(19)中的离化室进气管(27)，该管经气管绝缘套(17)、气管密封圈(16)与气管孔(19)绝缘密封连接，气管孔(19)的底部焊接进气管(18)，绝缘套与法兰(13)间置有密封圈(14)，金属套筒的上端与阳极(3)固定连接、下端与法兰(13)抵触连接。它于超高真空下产生了能量小于30eV的低能离子束流。

主权项

1、一种用于超高真空系统的中空阳极离子源，包括法兰(13)上依次同轴串接的阴极(8)、带有中心喷孔(31)的阳极(3)和外罩磁铁罩(2)的永磁体(32)，其特征在于：所述阴极(8)的下部为水冷腔(10)、上部为中空的离化室(28)，其外依次套装有绝缘套和金属套筒，所述绝缘套为相对接的绝缘底套(9)和绝缘顶套(29)，所述绝缘顶套(29)的中心置有通气孔(30)，所述金属套筒为焊接连接的上金属套筒(4)和下金属套筒(7)，所述下金属套筒(7)的内壁上置有肩台(6)，所述肩台(6)与所述绝缘底套(9)的上表面抵触连接；所述水冷腔(10)的下端口为与其焊接连接的盖板(11)，所述盖板(11)上贯通焊接连接有进水管(20)和出水管(21)，所述进水管(20)套装于出水管(21)之中，所述出水管(21)分别经带有凸肩(24)的水管绝缘套(23)与所述法兰(13)的带肩台的水管孔(22)绝缘连接，经水管密封圈(25)和水管绝缘套(23)与所述绝缘底套(9)和法兰(13)密封连接；所述离化室(28)的底部连通有离化室进气管(27)，所述离化室进气管(27)的下端部位于法兰(13)的气管孔(19)中，并分别经其中置有的气管绝缘套(17)与所述法兰(13)的气管孔(19)绝缘连接，经气管密封圈(16)和气管绝缘套(17)与所述绝缘底套(9)和气管孔(19)密封连接，所述气管孔(19)的底部焊接连接贯穿所述法兰(13)的进气管(18)；所述水管密封圈(25)和气管密封圈(16)外的绝缘底套(9)与法兰(13)间置有法兰密封圈(14)，所述法兰密封圈(14)与水管密封圈(25)或气管密封圈(16)间的法兰(13)中贯穿焊接连接有预抽气管(15)；所述下金属套筒(7)经其上的固定孔(12)、法兰螺栓(26)与法兰(13)抵触连接，所述上金属套筒(4)经其上的螺孔(5)、固定螺栓(1)与阳极(3)、永磁体(32)和其外罩的磁铁罩(2)固定连接。