[发明专利]安全气囊用加速度传感器无效
| 申请号： | 200810196601.9 | 申请日： | 2008-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101367369A | 公开（公告）日： | 2009-02-18 |
| 发明（设计）人： | 周元 | 申请（专利权）人： | 周元 |
| 主分类号： | B60R21/16 | 分类号： | B60R21/16 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215007江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种安全气囊用加速度传感器，包括敏感元件和信号获取与处理电路，所述敏感元件为敏感质量块、位于敏感质量块中间空腔的悬臂梁、敏感质量块两端的杠杆结构；与杠杆结构锚点相接触的谐振器连入信号获取与处理电路；所述谐振器做成双音叉结构；敏感质量块空腔的悬臂梁两侧设置有测试驱动叉指结构；实现了在谐振式加速度传感器在汽车安全气囊方面的应用，提高了信噪比和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 安全气囊 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种安全气囊用加速度传感器，包括敏感元件和信号获取与处理电路，上述部分都是基于MEMS表面工艺加工成型的整体，其特征在于：所述敏感元件为敏感质量块(1)、位于敏感质量块(1)中间空腔的悬臂梁(2)、敏感质量块(1)两端的杠杆结构(3)；与杠杆结构(3)锚点(4)相接触的谐振器(6)连入信号获取与处理电路；所述谐振器(6)做成双音叉结构(8)；敏感质量块(1)空腔的悬臂梁(2)两侧设置有测试驱动叉指结构(9)。
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