[发明专利]一种光刻机同步触发在线诊断方法及系统有效
| 申请号： | 200810200085.2 | 申请日： | 2008-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN101359187A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 周金明;池峰;黄芳 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光刻机同步触发在线诊断方法及系统，由主控制器，分系统控制器，便携式PC机，触发诊断缓冲板，分系统控制子卡，以及相应的处理软件组成。触发诊断缓冲板提供环形缓冲区用于保存各分系统所有的诊断数据，各触发诊断缓冲板之间通过硬件同步信号线进行连接。触发诊断系统收集所有分系统的精确时序的诊断数据，同时不影响系统正常的运行操作，帮助快速定位问题，减少集成以及现场技术支持的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 同步 触发 在线 诊断 方法 系统 | ||
【主权项】：
1、一种光刻机同步触发诊断系统，其特征在于：包括一个主控制器(1)，至少两个分系统：其中所述分系统均包括一个分系统控制器(2)，所述分系统均包括一个触发诊断缓冲板(4)，所述分系统均包括至少一个分系统控制子卡(3)；所述主控制器(1)分别与所述分系统中的每个分系统控制器(2)相连接，所述分系统中的每个分系统控制控器(2)分别与所述分系统中的每个分系统控制子卡(3)均保持连接，所述分系统中的每个分系统控器(2)分别与所述分系统中的每个触发诊断缓冲板(4)均保持相连，所述分系统中的每个触发诊断缓冲板(4)分别与所述分系统中的每个分系统控制子卡(3)均保持连接；所述分系统的每个触发诊断缓冲板(4)之间均保持相互连接。
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