[发明专利]碲镉汞光伏探测器深能级缺陷的检测方法

摘要

本发明公开了一种检测碲镉汞红外探测器深能级缺陷的检测方法，它是基于在激光辐照下，深能级被激活引起隧穿电流的原理，采用相敏检测技术(锁相放大器+机械斩波器)得到激光辐照下的反常电流信号，并除去常规的激光束诱导电流信号，剩下的即为深能级缺陷引起的陷阱辅助隧穿电流，可作为判断样品中深能级的标准，此电流值越大，样品中深能级缺陷数目越多。本发明的优点在于能独立表征对器件暗电流有贡献的深能级缺陷特性。

主权项

1.一种碲镉汞红外探测器深能级缺陷的检测方法，它利用微米尺度激光光斑激发光伏器件pn区光生载流子，形成对pn结区深能级的激活，并通过激活的深能级对暗电流增强的效应获取深能级特性，其特征在于：该检测方法的具体步骤如下：A.从样品p区两端引出激光束诱导电流(LBIC)的测试电极，将样品放入杜瓦，通过液氮和控温仪调节使样品处于较低温度下；B.通过二维微移动平台(6)调节杜瓦(5)位置，在高倍物镜(4)和CCD相机(3)观察下，将激光聚焦到杜瓦中的pn结样品所在处，使扫描线沿样品中心线；C.将激光功率逐渐调大打在样品上，结合相敏检测技术(锁相放大器+机械斩波器)，记录激光沿样品中心线扫描时的电流和位置的关系曲线，当激光增大到某一较强功率时，在pn结区引起较高的载流子浓度，对pn结区某些对于隧穿有很强增强效应的深能级进行了激活，使得隧穿电流急剧上升，这时电流曲线上会出现反常的线形；D.在此较强激光造成的反常曲线基础上，除去常规的激光束诱导电流的信号，剩下的即为深能级缺陷引起的陷阱辅助隧穿电流，可作为判断样品中深能级的标准，此电流值越大，样品中深能级缺陷数目越多。