[发明专利]平面磁芯螺旋结构微电感器件及其制备方法无效
| 申请号： | 200810200422.8 | 申请日： | 2008-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101477873A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 周勇;冯书谊;周志敏;雷冲 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01F17/04 | 分类号： | H01F17/04;H01F27/26;H01F27/28;H01F27/32;H01F41/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种微电子技术领域的平面磁芯螺旋结构微电感器件及其制备方法。微电感器件包括衬底、磁芯材料、绝缘材料、平面螺旋结构线圈、引脚、引线，平面螺旋结构线圈由两层磁芯材料包裹，并由聚酰亚胺分开，中心引脚与外部引脚相连。工艺如下：溅射Cr层、甩胶、光刻、显影、刻蚀，制作套刻对准符号；粘结磁芯材料、甩胶、光刻、显影、刻蚀磁芯材料；甩聚酰亚胺并烘干固化、抛光；溅射、甩胶、光刻、显影、电镀、制作平面螺旋结构线圈、引线及引脚；甩聚酰亚胺并烘干固化、抛光；溅射Ti层、甩胶、光刻、显影、刻蚀；粘结磁芯材料、甩胶、光刻、显影、刻蚀磁芯材料。本发明使微电感器件的高频损耗大大降低，有效提高了器件的高频性能。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 螺旋 结构 电感 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种平面磁芯螺旋结构微电感器件，包括衬底、粘结材料、磁芯材料、绝缘材料、平面螺旋结构线圈、引线，其特征在于磁芯材料包括底层磁芯材料和顶层磁芯材料，平面螺旋结构线圈位于底层磁芯材料和顶层磁芯材料之间并用绝缘材料分开，底层磁芯材料位于衬底上方，平面螺旋结构线圈的引脚分别通过引线延伸到磁芯材料的外部，磁芯材料与平面螺旋结构线圈之间、磁芯材料与引线之间、平面螺旋结构与引线及外部引脚之间均通过绝缘材料分开和支撑。
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