[发明专利]主动减振系统及其预见控制方法有效
| 申请号： | 200810200919.X | 申请日： | 2008-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN101364052A | 公开（公告）日： | 2009-02-11 |
| 发明（设计）人： | 杨辅强;袁志扬;严天宏;刘赟;周宏权 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16F15/023;F16M7/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种主动减振系统，包括基座、主基板、减振单元及其控制系统，其特征在于至少3个减振单元，以相同的夹角围绕一个中心平均分布在一个圆周平面上，所述减振单元底端安装在基座上，顶端连接主基板，所述控制系统连接减振单元，接收来自减振单元的振动信号，并反馈控制信息。其中预见控制模块根据主基板上掩模台、工件台等运动部件的路径规划，得出各运动部件在未来一段时间内的位置信息，预见控制器综合各运动部件当前位置和未来一段时间内的位置信息，通过预见控制算法得出预见补偿控制信号，将预见补偿控制信号与减振反馈控制信号叠加，驱动主动减振系统。本发明具有功率小，发热量低，减振精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 主动 系统 及其 预见 控制 方法 | ||
【主权项】：
1、一种主动减振系统，包括基座、主基板、减振单元及其控制系统，其特征在于至少3个减振单元，以相同的夹角围绕一个中心平均分布在一个圆周平面上，所述减振单元底端安装在基座上，顶端连接主基板；所述控制系统连接减振单元，接收来自减振单元的振动信号，并反馈控制信息。
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