[发明专利]单一组分钛酸锶钡光学微腔及构筑方法无效
| 申请号： | 200810201537.9 | 申请日： | 2008-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN101382604A | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | 胡古今;商景林;戴宁;张婷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;H01S5/10 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 郭 英 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单一组分钛酸锶钡光学微腔及构筑方法，该方法利用含聚乙烯吡咯烷酮的前驱体溶液，通过重复甩胶镀膜-热处理工艺，且通过不同的热处理条件对钛酸锶钡薄膜的微观结构进行调控，以构筑由钛酸锶钡布拉格反射膜层和均一相的钛酸锶钡间隔层形成的光学微腔。本发明的最大特点是：光学微腔的反射镜和间隔层均用同一种前化学溶液进行构筑；其优点是：所用设备简单，操作方便，成本低，普适性强。 | ||
| 搜索关键词： | 单一 组分 钛酸锶钡 光学 构筑 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种单一组分钛酸锶钡光学微腔，其特征在于：该光学微腔结构包括：钛酸锶单晶衬底，在衬底上通过化学溶液法依次生长如下结构的膜层：DBR\Spacer\DBR；上述膜层中的DBR为5—20个周期的钛酸锶钡多层介质反射膜，每层介质反射膜的厚度为60—200nm；Spacer为钛酸锶钡薄膜间隔层，其膜层厚度为30—100nm。
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