[发明专利]一种测量制冷型红外探测器光敏元间温差的装置和方法有效
申请号: | 200810201542.X | 申请日: | 2008-10-22 |
公开(公告)号: | CN101373153A | 公开(公告)日: | 2009-02-25 |
发明(设计)人: | 张海燕;胡晓宁;李言谨;龚海梅;陆华杰 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | G01K7/01 | 分类号: | G01K7/01 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 20008*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明专利公开了一种测量制冷型红外焦平面探测器件各光敏元间的温度差的装置和方法。温度分布不均匀会导致材料的禁带宽度有差异从而影响器件的响应波长,不利于焦平面的均匀性指标的提高,因此不同位置的光敏元温度分布是非常值得关注的。但目前还没有哪个方法能简单方便的测量几何尺寸在微米量级的光敏元的温度。本专利通过静电计测量微小面积光敏元的电势差,可以方便的得到他们间的温度差。该方法简便易行,测量准确,值得推广使用。 | ||
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【主权项】:
1.一种测量制冷型红外探测器光敏元间温差的装置,它主要包括杜瓦(8)、静电计(10)和静电屏蔽网11,其特征在于:被测量的探测器器件由真空导热油脂粘贴杜瓦(8)中的冷头(1)上,被测器件上的各个光敏元通过测量引线(6)与杜瓦(8)上的金属触点相连,静电计(10)通过静电计引线(9)并联在杜瓦(8)的金属触点上,通过静电计(10)测量各个光敏元件的电动势,整个装置安放在静电屏蔽网(11)中。
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