[发明专利]带有集中质量块的压电式微固体模态陀螺

摘要

一种微机电系统技术领域的带有集中质量块的压电式微固体模态陀螺，包括：压电体、驱动电极、模态检测电极、集中质量块，其中，驱动电极、模态检测电极、感应电极、集中质量块设置在压电体的上下表面，和压电体形成固定连接。在压电体某阶特殊振动模态下，压电体上各点都沿着某个轴向振动，用该特殊振动模态作为陀螺的工作振动模态，压电体的极化方向和压电体工作振动模态下的振动方向相垂直。由于旋转耦合的哥氏加速度效应导致压电体表面电压分布发生变化，通过检测集中质量块上的电压变化情况，来敏感外界输入的角速度。本发明中通过引入集中质量块，降低工作振动模态频率，同时也增加了振动体存储的能量，以增强微陀螺的分辨率和抗干扰能力。

主权项

1、一种带有集中质量块的压电式微固体模态陀螺，包括：压电体、驱动电极、模态检测电极，其特征在于，还包括集中质量块，所述集中质量块、驱动电极、模态检测电极、感应电极设置在压电体的上下表面，并与压电体形成固定连接，其中：所述驱动电极，共有两对，分别分布在压电体上下表面的中央位置；所述的模态检测电极共有四个，分别分布在压电体上下表面相对两个棱边附近的中间位置；所述的集中质量块共有八个，分别分布在压电体上下表面的四个角上。