[发明专利]光学元件透射光谱自动面扫描测量装置和方法无效
| 申请号： | 200810202062.5 | 申请日： | 2008-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN101387551A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 朱美萍;范正修;易葵 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光学元件透射光谱自动面扫描测量装置和方法，装置的构成包括光源、光阑、第一会聚镜、单色系统、准直透镜组和第二半透半反镜、参考光路、测量光路、第三半透半反镜、第二会聚镜、待测样品、信号接收系统和计算机，其特点在于：所述的测量光路对水平地放置的待测样品进行测量；所述的计算机具有控制软件，该计算机通过信号线分别与第一半透半反镜、第二半透半反镜、第三半透半反镜、单色系统、二维电动平移台和信号接收系统相连，本发明实现了光学元件的透射光谱测量，可测量的光学元件的最大尺寸为400mm×600mm；利用计算机的控制软件的控制实现了光学元件的自动面扫描测量。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 透射 光谱 自动 扫描 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种光学元件透射光谱自动面扫描测量装置，其构成包括光源(04)、光阑(05)、第一会聚镜(06)、单色系统(07)、准直透镜组(08)和第二半透半反镜(09)、参考光路、测量光路、第三半透半反镜(17)、第二会聚镜(18)、待测样品(10)、信号接收系统(22)和计算机(21)，其特征在于：所述的测量光路由第二半透半反镜(09)反射的竖直光路和依次设置的待测样品(10)、第一反射镜(15)、第三半透半反镜(17)和第二会聚镜(18)构成；所述的待测样品(10)水平地放置在所述的样品台(14)的样品架(12)上，该样品台(14)由样品架(12)、燕尾式滑动导轨(11)和二维电动平移台(13)构成，所述的待测样品(10)随着二维电动平移台(13)进行二维移动；所述的参考光路由通过所述的第二半透半反镜(09)的水平光路和依次设置的第二反射镜(16)、第三半透半反镜(17)和第二会聚镜(18)构成；所述的计算机(21)的输入端接所述的信号接收系统(22)的输出端，该计算机(21)通过信号线分别与所述的第一半透半反镜(02)、第二半透半反镜(09)、第三半透半反镜(17)、单色系统(07)和二维电动平移台(13)相连，所述的计算机(21)通过具有的控制软件控制所述的第一半透半反镜(02)、第二半透半反镜(09)、第三半透半反镜(17)、单色系统(07)和二维电动平移台(13)的运动。
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