[发明专利]针尖扫描式原子力显微镜的光束跟踪装置无效
| 申请号： | 200810202607.2 | 申请日： | 2008-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN101403680A | 公开（公告）日： | 2009-04-08 |
| 发明（设计）人： | 储敏;徐文东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16;G12B21/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种针尖扫描式原子力显微镜的光束跟踪装置，由分立的激光光源模块、扫描模块和探测模块组成，所述的激光光源模块包括激光器和准直透镜，所述扫描模块包括z扫描器、xy扫描器、小孔光阑、物镜和微悬臂探针，所述的z扫描器和xy扫描器构成扫描器，所述小孔光阑位于所述的z扫描器的顶端中心，所述物镜固定在所述的z扫描器的底端中央，所述微悬臂探针通过连接件固定在所述的z扫描器的底端，而且所述的微悬臂探针的针尖之背的一固定点位于所述物镜的焦点；所述探测模块包括成像透镜、光电探测器及其三维位置调整件构成，所述成像透镜位于所述的微悬臂探针的针尖之背的反射光路上，所述的光电探测器置于所述成像透镜的像方焦平面上。 | ||
| 搜索关键词： | 针尖 扫描 原子 显微镜 光束 跟踪 装置 | ||
【主权项】：
1、一种针尖扫描式原子力显微镜的光束跟踪装置，其特征是该装置由分立的激光光源模块、扫描模块和探测模块组成，所述的激光光源模块包括激光器(1)和准直透镜(2)，所述的扫描模块包括z扫描器(4)、xy扫描器(5)、小孔光阑(3)、物镜(6)和微悬臂探针(8)，所述的z扫描器(4)和xy扫描器(5)构成扫描器，所述的小孔光阑(3)位于所述的z扫描器(4)的顶端中心，所述的物镜(6)固定在所述的z扫描器(5)的底端中间，所述的微悬臂探针(8)通过连接件(7)固定在所述的z扫描器(5)的底端，所述的微悬臂探针(8)的针尖之背面的一固定点位于所述物镜(6)的焦点；所述的探测模块包括成像透镜(9)、光电探测器(10)及其三维位置调整件，所述的成像透镜(9)位于所述的微悬臂探针(8)的针尖之背的反射光路上，所述的光电探测器(10)置于所述的成像透镜(9)的像方焦平面上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810202607.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
