[发明专利]应用于钨化学气相沉积工艺的气体传输系统有效
| 申请号： | 200810202700.3 | 申请日： | 2008-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101736310A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 刘涛;李晓波;孔祥涛;欧阳东;张金刚;李夏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/06 | 分类号： | C23C16/06;C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种应用于钨化学气相沉积工艺的气体传输系统，包括反应室，第一抽气泵和第二抽气泵，以及尾气处理装置，所述反应室通过多个反应气体管道供气，所述第一抽气泵通过反应生成气体管道与所述反应室相连，所述第二抽气泵通过背面气体抽气管道与所述反应室相连，所述第一抽气泵和其中之一所述多个反应气体管道之间连接有第一回转气体管道，所述第一抽气泵和第二抽气泵连接于所述尾气处理装置，其中所述其中另一所述多个反应气体管道和所述第二抽气泵之间连接有第二回转气体管道。本发明能够有效解决PNL钨生长设备的低有效利用率的问题，降低工艺过程抽气泵出现错误警报的频率。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 化学 沉积 工艺 气体 传输 系统 | ||
【主权项】：
一种应用于钨化学气相沉积工艺的气体传输系统，包括反应室，第一抽气泵和第二抽气泵，以及尾气处理装置，所述反应室通过多个反应气体管道供气，所述第一抽气泵通过反应生成气体管道与所述反应室相连，所述第二抽气泵通过背面气体抽气管道与所述反应室相连，所述第一抽气泵和其中之一所述多个反应气体管道之间连接有第一回转气体管道，所述第一抽气泵和第二抽气泵连接于所述尾气处理装置，其特征在于所述其中另一所述多个反应气体管道和所述第二抽气泵之间连接有第二回转气体管道。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
