[发明专利]一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置

摘要

本发明公开了一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，其结构主要由微型吸附泵、双通二位快速转换真空阀门，过渡管、高气密真空对接接头、红外探测器杜瓦组件组成。本发明是利用低温介质对无电源微型吸附泵内的活性炭进行制冷，低温下的活性炭对红外探测器杜瓦组件进行排气，双通二位快速转换真空阀门可以实现微型吸附泵与多个红外探测器杜瓦组件之间快速高气密的交替连接，来获得红外探测器微型杜瓦组件高真空排气夹封前性能测试的所需要真空度。本发明避免了排气装置对红外探测器杜瓦组件性能测试的电磁干扰，解决了处于低温红外探测器突然暴露空气会导致红外探测器芯片和其相应的光学元件被污染的问题，提高了测试效率。

主权项

1.一种红外探测器微型杜瓦组件性能测试用排气装置，它由微型吸附泵(1)、双通二位快速转换真空阀门(2)，过渡管(3)、高气密真空对接接头(4)和红外探测器杜瓦组件(5)组成，其特征在于：所述的排气装置构建方法是将所述的微型吸附泵(1)的排气端(101)与所述的双通二位快速转换真空阀门(2)的阀门副头(206)连接，再将所述的红外探测器杜瓦组件(5)的排气管(501)通过所述的高气密真空对接接头(4)与所述的过渡管(3)的金属铜管301连接，最后将所述的双通二位快速转换真空阀门(2)的阀门主头(201)与所述的过渡管(3)的金属接头302连接到一起。