[发明专利]多晶硅还原反应炉无效
| 申请号： | 200810204124.6 | 申请日： | 2008-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN101463498A | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 袁建中 | 申请（专利权）人： | 袁建中 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C01B33/03;C30B28/14 |
| 代理公司： | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 200030上海市徐*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多晶硅还原反应炉，包括炉体，置于炉体内的电极和与电极连接的硅芯，进气口，排气口，置于炉体开口处的活动炉门，与炉体分离而活动或固定的电极盘。所述炉体的中心轴线沿水平方向置放。使用本发明的还原反应炉进行多晶硅的生产，容易扩大生产规模，缩短生产周期，节约生产成本，提高成品率和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 反应炉 | ||
【主权项】：
1. 一种多晶硅还原反应炉，包括炉体、置于炉体内的电极和与电极连接的硅芯、进气口、排气口，其特征在于，包括置于炉体开口处的活动炉门，与炉体分离并活动或固定的电极盘，所述炉体的中心轴线沿水平方向置放。
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