[发明专利]一种含氟组合物及其应用无效
| 申请号： | 200810204610.8 | 申请日： | 2008-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN101748008A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘兵;彭洪修;彭杏 | 申请（专利权）人： | 安集微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/28 | 分类号： | C11D7/28;C11D7/32 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含氟组合物，该含氟组合物含有：氟化物，载体和一种改性聚丙烯酸酯。本发明克服了现有的含氟组合物存在的多晶硅腐蚀速率大的缺陷，对多晶硅具有较低的腐蚀速率，因此其在半导体晶片清洗和太阳能电池等领域具有良好的应用前景。本发明还公开了含氟组合物在清洗半导体晶片中的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种含氟组合物，包含改性聚丙烯酸酯、氟化物和载体。
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