[发明专利]一种无机电致发光显示器中的底电极及其制作方法无效
| 申请号： | 200810204704.5 | 申请日： | 2008-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN101754511A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 张羿;肖田;楼均辉;刘红君 | 申请（专利权）人： | 上海广电电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B33/26 | 分类号： | H05B33/26 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200060*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种无机电致发光显示器中的底电极，所述的底电极的材料为Ti-Au复合薄膜。本发明还提供了一种无机电致发光显示器底电极的制作方法，先将TFT玻璃清洗干净吹干，将玻璃基片放入电子束蒸发设备中，抽真空到1.5×10-3Pa-3.0×10-3Pa的气压，将基片温度加热到130-180℃，蒸发速率为采用Ti靶材，用电子束蒸发的方法镀上厚的Ti膜，然后蒸镀上厚的Au膜。本发明适于交流驱动方式工作，与现有技术相比，具有耐压高、漏电小、可靠性好、发光亮度大、寿命长、成本低等特点。适合于大面积的平面显示，同时具有制备技术简单并适合于大生产的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无机 电致发光 显示器 中的 电极 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种无机电致发光显示器中的底电极，其特征在于：所述的底电极的材料为Ti-Au复合薄膜。
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