[发明专利]测量工具有效
| 申请号： | 200810204776.X | 申请日： | 2008-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101750004A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 马彪;任晓栋;张卫民;施训志 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/30 | 分类号： | G01B5/30 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量工具，用于测量晶舟盒相对于标准形状的变形尺寸，所述晶舟盒包括一容置部，所述容置部具有一开口，所述测量工具包括第一测量部以及第二测量部，所述第一测量部与所述晶舟盒容置部的标准形状相匹配，用于测量所述晶舟盒容置部的变形情况，所述第二测量部与所述第一测量部连接，用于测量所述晶舟盒容置部的开口尺寸。本发明所提供的测量工具，可快速并准确地检测出所述晶舟盒是否变形，变形尺寸是否在可接受范围内，并且不受人为误差以及测量地点的影响，不同的测量人员测量同一待测晶舟盒可得出相同的测量结论，且可在制程设备内进行测量，提高了测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 工具 | ||
【主权项】：
一种测量工具，用以测量晶舟盒相对于标准形状的变形尺寸，所述晶舟盒包括容置部，所述容置部具有一开口，其特征在于，包括：第一测量部，与所述晶舟盒容置部的标准形状相匹配，用于测量所述晶舟盒容置部的变形情况；以及第二测量部，与所述第一测量部连接，用于测量所述晶舟盒容置部的开口尺寸。
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