[发明专利]电容器无效
申请号: | 200810204834.9 | 申请日: | 2008-12-30 |
公开(公告)号: | CN101770865A | 公开(公告)日: | 2010-07-07 |
发明(设计)人: | 邹晓东 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01G4/08 | 分类号: | H01G4/08 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 201210 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种电容器,包括两个电容器极板以及夹在两个极板之间的绝缘层,所述绝缘层包括氧化硅层和氮化硅层。本发明的优点在于,所述电容器的绝缘层中既包括氧化硅层,也包括氮化硅层,抑制了单一采用氧化硅或者氮化硅所带来的电容值随电压变化的现象,获得了具有稳定电容值的电容器。 | ||
搜索关键词: | 电容器 | ||
【主权项】:
一种电容器,包括两个电容器极板以及夹在两个极板之间的绝缘层,其特征在于,所述绝缘层包括氧化硅层和氮化硅层。
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