[发明专利]一种单晶ZnSe/Ge异质结纳米线的制备方法无效
申请号: | 200810207240.3 | 申请日: | 2008-12-18 |
公开(公告)号: | CN101476152A | 公开(公告)日: | 2009-07-08 |
发明(设计)人: | 王春瑞;刘建;谢庆庆 | 申请(专利权)人: | 东华大学 |
主分类号: | C30B25/00 | 分类号: | C30B25/00;C30B29/10;C30B29/62 |
代理公司: | 上海泰能知识产权代理事务所 | 代理人: | 黄志达;谢文凯 |
地址: | 201620上海市松*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种单晶ZnSe/Ge异质结纳米线的制备方法,包括:将ZnSe和Ge粉末作为原材料放置在石英管中间位置,用硅片为衬底,放入混合粉末下风方向的石英舟中,石英管一端接供气系统,另一端接机械真空泵,通入流量为100-200sccm的氩气,控制石英反应管中间位置温度为1000℃~1100℃,沉积压力为200Torr(1Torr≈133Pa),沉积反应2h后,关闭加热电源,自动冷却至室温,即得ZnSe/Ge异质结纳米线。本发明制备的单晶ZnSe/Ge异质结纳米线具有直径均匀,表面光滑,结晶度好,有高质量的异质界面,该制备工艺简单,采用一步热蒸发即可完成。 | ||
搜索关键词: | 一种 znse ge 异质结 纳米 制备 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种单晶ZnSe/Ge异质结纳米线的制备方法,包括:将ZnSe和Ge粉末作为原材料放置在石英管中间位置,用硅片为衬底,放入混合粉末下风方向的石英舟中,石英管一端接供气系统,另一端接机械真空泵,通入流量为100-200sccm的氩气,控制石英反应管中间位置温度为1000℃~I100℃,沉积压力为200Torr,沉积反应2h后,关闭加热电源,自动冷却至室温,即得ZnSe/Ge异质结纳米线。2.根据权利要求1所述的一种单晶ZnSe/Ge异质结纳米线的制备方法,其特征在于:所述的石英反应管中间位置温度为1050℃。
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