[发明专利]利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法有效
| 申请号： | 200810208129.6 | 申请日： | 2008-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101451946A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 于海涛;李昕欣;李俊纲;许鹏程;陈滢 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N19/00 | 分类号： | G01N19/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法及悬臂梁的制作，特征在于在悬臂梁高阶弯曲模态振幅为零处和悬臂梁的自由端处表面分别淀积不同的特异性识别的敏感膜，利用振幅为零处在高阶模态下质量检测灵敏度为零，而自由端处质量检测灵敏度最大的特性，通过同时记录悬臂梁的各个模态在检测前后频率的变化，得到各个敏感位置所吸附的不同物质的质量，从而实现用单根悬臂梁检测多种物质。本发明的特点是结构简单、制作方便、容易实现以及扩展性好等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 微机 悬臂梁 实现 多种 物质 检测 方法 | ||
【主权项】：
1、利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法，其特征在于在单根微机械悬臂梁高阶弯曲模态振幅为零处和微机械悬臂梁的自由端处表面分别淀积不同的待测物质的敏感膜，通过扫频得到检测前后的各阶模态谐振频率，从而计算出不同物质的吸附质量。
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