[发明专利]石英玻璃坩埚的制造方法无效
申请号: | 200810210328.0 | 申请日: | 2008-07-10 |
公开(公告)号: | CN101624258A | 公开(公告)日: | 2010-01-13 |
发明(设计)人: | 岸弘史;神田稔 | 申请(专利权)人: | 日本超精石英株式会社 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 庞立志;孙秀武 |
地址: | 日本秋田*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明为石英玻璃坩埚的制造方法,其是对充填在模具内表面的石英粉成形体抽真空的同时进行电弧熔融的坩埚的制造方法,其特征在于,从石英粉成形体的缘端开始石英粉的熔融,其后,降下电弧电极或提起模具,从缘端加热熔融下侧部分,优选在从电弧熔融开始到电弧总时间的10%以内的时间内,将坩埚内表面密封,另外密封厚度为3mm以下。 | ||
搜索关键词: | 石英玻璃 坩埚 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种石英玻璃坩埚的制造方法,其为对充填在模具内面的石英粉成形体抽真空的同时,通过电弧电极的电弧放电将石英粉成形体熔融的坩埚的制造方法,其特征在于,从所述石英粉成形体的缘端开始石英粉的熔融,其后,降下所述电弧电极或提起模具,对比所述石英粉成形体的所述缘端下侧的部分进行加热熔融。
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