[发明专利]石英玻璃坩埚以及使用该石英玻璃坩埚的硅单晶提拉方法无效
| 申请号： | 200810210350.5 | 申请日： | 2008-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101624721A | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 岸弘史;神田稔 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社;胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 庞立志;孙秀武 |
| 地址： | 日本秋田*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供用于硅单晶提拉的石英玻璃坩埚，是将非晶质二氧化硅结晶化而成的结晶二氧化硅的面积抑制在坩埚面积的10％以下，将坩埚内表面的开气泡产生的凹部的密度限制在0.01～0.2count/mm2的石英玻璃坩埚，以及提供使用该石英坩埚，将坩埚内表面的熔损速度抑制在20μm/hr以下进行硅单晶的提拉，由此防止气孔的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 以及 使用 硅单晶提拉 方法 | ||
【主权项】：
1.石英玻璃坩埚，其为用于硅单晶的提拉的石英玻璃坩埚，其特征在于，通过将非晶质二氧化硅结晶化而成的结晶二氧化硅的面积抑制在坩埚面积的10％以下，防止硅单晶的气孔。
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