[发明专利]三维形状测量装置

摘要

本发明是有关于一种三维形状测量装置，是一种可缩短测量时间而进行三维测量的技术。光路形成部接收来自宽频带光源的宽频带光，使其分支入射到参考光路和测量光路，并将来自参考镜的反射光与来自被测量物的反射光进行合波后向拍摄机构输出。另一方面，光路长度可变机构使测量光路的光路长度发生变化。拍摄机构在相对于该光路长度的变化而产生混叠现象的时序，对来自光路形成部的输出进行拍摄，从而获取含有干涉条纹的干涉条纹数据。光路长度检测机构从拍摄机构所获取的干涉条纹数据中将因混叠现象所产生的频率成分予以去除，而求出显示出干涉条纹的特征值的特定光路长度。

主权项

1、一种三维形状测量装置，其具备：宽频带光源(1)，输出具有多个频谱的宽频带光；光路形成部(5)，使所述宽频带光分支而入射到具有参考镜的参考光路和配置有被测量物的测量光路，并使来自所述参考镜的反射光和来自被照射的所述被测量物的照射范围的照射位置的各反射光进行合波后输出；光路长度可变机构(8)，使所述参考光路或者所述测量光路的任一个的光路长度发生变化；拍摄机构(10)，相对于由所述光路长度可变机构导致的所述光路长度的变化，在规定的采样时序对来自所述光路形成部的输出进行拍摄，从而获取含有干涉条纹的干涉条纹数据；以及光路长度检测机构(14)，根据从所述拍摄机构输出的所述干涉条纹数据，而求出显示出所述干涉条纹的特征值时的特定光路长度，该三维形状测量装置根据所求出的所述特定光路长度来测量所述被测量物的形状，该三维形状测量装置的特征在于：所述拍摄机构拍摄时的所述规定的采样时序，是对所述光路成分的输出中所含的干涉条纹产生混叠现象的时序，该采样时序设为在频率区域可分离成想要的实频率成分和因所述混叠现象产生的频率成分的时序，进而，所述光路长度检测机构具备：干涉条纹数据选择部(14a)，将由所述拍摄机构在所述规定的采样时序获取的干涉条纹数据转换成频率区域的数据，并将所述混叠现象产生的无用成分除外，而选择所述实频率成分产生的新的干涉条纹数据；以及光路长度计算部(14c)，根据所述新的干涉条纹数据，求出显示出所述干涉条纹的特征值的所述特定光路长度。