[发明专利]利用超短脉冲激光束的基板切割装置及其切割方法无效
| 申请号： | 200810213157.7 | 申请日： | 2008-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN101391860A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 李晚燮;法里德·艾哈迈德;闵喆基 | 申请（专利权）人： | 韩国情报通信大学校产学协力团;彩霸阳光股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/08 | 分类号： | C03B33/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供利用超短脉冲激光束的基板切割装置及其切割方法，可利用从飞秒(FS)至皮秒(PS)的超短脉冲激光，与根据显示器的用途及特性稍有不同的玻璃或透明材质的基板特性无关地最大限度降低复杂的前/后工序，仅利用简单工序就能实现迅速且高精度的切割加工，防止不希望的切割、裂纹及损伤，使不良率极小化。本发明的利用超短脉冲激光束的基板切割装置具有：产生超短脉冲激光束的激光产生单元；进行调节以使超短脉冲激光束对焦于要切割的基板内部的焦点调节单元，通过使超短脉冲激光束对焦于基板内部并沿着希望的切割路径进行照射，引导内部成丝现象，在基板内部形成切割槽。由此具有可无裂纹及损伤地以简单的工序来迅速且高精度地切割用于各种显示器的基板的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 超短 脉冲 激光束 切割 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种利用超短脉冲激光束的基板切割装置，其特征在于，上述利用超短脉冲激光束的基板切割装置具有：激光产生单元，其用于产生超短脉冲激光束；以及焦点调节单元，其用于进行调节以使上述超短脉冲激光束对焦于要切割的基板的内部，通过使上述超短脉冲激光束对焦于上述基板的内部，并沿着希望的切割路径进行照射，来引导内部成丝现象，在上述基板的内部形成切割槽。
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