[发明专利]压电元件及使用该压电元件的液滴喷出头、以及压电元件的制造方法无效
| 申请号： | 200810213491.2 | 申请日： | 2008-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN101383395A | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | 直野崇幸;新川高见;藤井隆满 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22;B41J2/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱 丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种压电特性高，并且耐久性高的压电元件。其中，具有通过被施加电压的变化而伸缩的压电体膜；被配置在压电体膜的一个面上的第1电极；和被配置在与压电体膜的第1电极所被配置的面相反侧的面上的第2电极。压电体膜的主成分，是通过气相成长法在第2电极上形成的PbxByOz，将从与上述第2电极的接触面起，在上述第1电极的方向上距离100nm的部分的x/y，设成0.8以上、1.6以下，B是由以下的至少一个构成：Ti、Zr、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Sc、Co、Cu、In、Sn、Ga、Zn、Cd、Fe及Ni，并且，设0＜x≤1，0＜y≤1，2.5＜z≤3。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 使用 喷出 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种压电元件，其特征在于，具有：通过被施加的电压的变化而伸缩的压电体膜；被配置在上述压电体膜的一个面上，用于对上述压电体膜施加上述电压的第1电极；和，被配置在上述压电体膜的与上述第1电极所被配置的面相反侧的面上，并对上述压电体膜施加上述电压的第2电极，上述压电体膜，以通过气相成长法在上述第2电极上形成的PbxByOz为主成分，将从与上述第2电极的接触面起，在上述第1电极的方向上距离100nm的、上述压电体膜的部分的x/y，设为0.8以上、1.6以下，B位元素，用以下的至少一个构成：Ti、Zr、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Sc、Co、Cu、In、Sn、Ga、Zn、Cd、Fe以及Ni，并且，0
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士胶片株式会社，未经富士胶片株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810213491.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
