[发明专利]用于将可光聚合干膜湿层叠在基片上的组合物和方法无效
| 申请号： | 200810213709.4 | 申请日： | 2008-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN101393398A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 余成之;P·G·C·T·D·乔治 | 申请（专利权）人： | E.I.内穆尔杜邦公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B32B37/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及能用于将可光聚合膜湿层叠在电路板上或其他基片上的方法的层叠液体。该层叠系统包括：1)干膜光致抗蚀剂，2)层叠物，该层叠物包含：i)铜，ii)不锈钢，iii)表面上的非金属，3)层叠液体和4)在该层叠物上施涂液体的器件。层叠液体包含水和表面能改进剂。表面能改进剂的存在量在0.0001-3.0摩尔/升范围，液体的pH为3-11。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 将可光 聚合 干膜湿 层叠 基片上 组合 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种层叠系统，该系统包括：A. 干膜光致抗蚀剂，B. 具有表面的基片，和C. 一种层叠液体，该液体包含：i. 水；和ii. 表面能改进剂。
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