[发明专利]其上放置有冷却背板的支承板有效
| 申请号： | 200810214218.1 | 申请日： | 2005-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN101353780A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | J·克雷佩－赫斯塞;A·吉斯齐克;U·舍布勒;H·沃夫 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;F25D17/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵辛;梁冰 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种其上放置有冷却背板的支承板，其中所述背板是用于溅射靶的多个单独地待冷却的背板(2，3，4)。每个背板(2，3，4，)在其背侧面上配有一个蜿蜒的槽(5)，该槽被一个封闭板封闭构成冷却通道。为了给冷却通道提供冷却介质，在封闭板(9)中有冷却介质入口和冷却介质出口，它们与支承背板的支承板(20)中的相应的冷却介质孔(21)相连。为了阻止冷却介质漏入真空中，并使真空受到异物的加载，对于每个冷却介质的连接设置由径向间隔距离的密封环(22，23)组成的密封，在该密封环之间构成一个环形室(24)。该环形室通过一个排气孔(25)与支承板(20)的背离背板(2，3，4)的侧面相连接。 | ||
| 搜索关键词： | 放置 冷却 背板 支承 | ||
【主权项】：
1.支承板，具有放置在其上的、用于溅射靶的冷却的背板(2，3，4)，在该背板的正面上可安置要被溅射的材料并在其背面上存在用于冷却背板的机构，所述机构由一在冷却介质入口与冷却介质出口之间延伸的冷却通道组成，其中所述支承板(20)具有与冷却介质入口和冷却介质出口对准的冷却介质孔(21)，对于在冷却介质孔(21)与冷却介质入口和出口之间的过渡部位进行密封，其特征在于，每个密封由径向间隔距离的密封环(22，23)组成，在该密封环之间构成一个环形室(24)，该环形室通过一个排气孔(25)与支承板(20)的背离背板(2，3，4)的侧面相连接。
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