[发明专利]真空开/关阀

摘要

一种可以连接真空腔和真空泵的耐用的真空开/关阀，所述真空开/关阀设置为通过改变作为阀元件的O形圈相对于阀座的开度来控制所述真空腔中的真空压力。活塞的外周表面和气缸的内周表面之间的预定间隙被波纹密封件密封，所述波纹密封件根据通过移动打开或者关闭所述阀的活塞的运动而改变形状。所述波纹密封件包括具有预定倾斜角的倾斜表面，所述活塞的外周包括具有预定倾斜角的倾斜表面，这样，当所述阀元件与所述阀座接触时，与活塞接触的波纹密封件的内直径等于活塞的外直径。

主权项

1.一种能够连接在真空容器和真空泵之间的真空开/关阀，所述阀包括：阀座，所述阀座形成有能够与所述真空容器和所述真空泵中的一个连接的端口；阀元件，所述阀元件能够移动成与所述阀座接触和脱离与所述阀座的接触；活塞，所述活塞能够通过流体移动，以使所述阀元件移动；气缸，所述活塞容纳在所述气缸中；以及波纹密封件，所述波纹密封件被放置为严密地密封所述活塞的外周表面和所述气缸的内周表面之间的预定间隙，并且与所述活塞的运动相关地改变形状；所述真空开/关阀布置为通过改变所述阀元件相对于所述阀座的的开度来控制所述真空容器中的真空压力，其中，所述波纹密封件包括周边表面，该周边表面形成有预定倾斜角且布置成与所述活塞的外周表面接触，所述活塞的外周表面包括形成有预定倾斜角的倾斜表面，所述波纹密封件和所述活塞被设计成使得当所述阀元件与所述阀座接触时，在与所述活塞接触的部分处的所述波纹密封件的周边表面的内直径与接触所述波纹密封件的周边表面的活塞的外直径相等，所述波纹密封件的倾斜角与所述活塞的倾斜角相等，所述波纹密封件的所述周边表面包括第一倾斜表面和第二倾斜表面，所述第一倾斜表面和第二倾斜表面相对于沿在截面上沿所述波纹密封件的中央轴线的所述活塞的冲程方向的轴线具有不同的倾斜角，并且所述波纹密封件的倾斜角是所述第一倾斜表面和第二倾斜表面的倾斜角中较小的一个倾斜角，所述真空开/关阀还包括连接所述阀元件和所述活塞的杆，其中，所述波纹密封件还包括通孔，所述杆穿过所述通孔延伸，以及所述波纹密封件穿过所述通孔装配在所述杆的外周上且被定位在适当的位置。