[发明专利]喷嘴构件、具有该构件的处理液供给装置及利用该构件供给处理液的方法有效
| 申请号： | 200810214995.6 | 申请日： | 2008-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN101376124A | 公开（公告）日： | 2009-03-04 |
| 发明（设计）人： | 河宗义 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B05B1/14 | 分类号： | B05B1/14;B05B9/03 |
| 代理公司： | 上海恩田旭诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁国芳 |
| 地址： | 韩国忠南天*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明关于一种喷嘴构件、具有该喷嘴构件的处理液供给装置及利用该喷嘴构件供给处理液的方法。在供给处理液的喷嘴构件中，喷嘴构件包括壳体，设置在所述壳体内的多个供给单元，不同的处理液通过各个供给单元流到基板上，以及分别与所述供给单元连接的多个喷嘴，所述喷嘴的设置为：从所述喷嘴中选出的第一喷嘴转向所述基板，并且除了所述第一喷嘴之外的其他喷嘴转离所述基板。因此，喷嘴构件的机械结构得到简化并且喷嘴转离基板防止了转离基板的喷嘴被通过指向基板的喷嘴喷射到基板上的处理液污染。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 构件 具有 处理 供给 装置 利用 方法 | ||
【主权项】：
1、一种喷嘴构件，包括：壳体；设置在所述壳体内的多个供给单元，不同的处理液通过各个供给单元流到基板上；以及分别与所述供给单元连接的多个喷嘴，所述喷嘴的设置为：从所述喷嘴中选出的第一喷嘴转向所述基板，并且除了所述第一喷嘴之外的其他喷嘴转离所述基板。
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