[发明专利]气脚支撑工作台的设计方法

摘要

一种气脚支撑工作台的设计方法，包括步骤：A1.确定有限元模型：根据工作台建立相应实心长方体的几何形态形成有限元模型；A2.确定气脚位置：通过改变气脚与对称中心的距离采样一组有限元模型，获取更优化的模型至获取符合精度需求的气脚位置；A3.确定气脚刚度：根据工作台的具体形态建立有限元模型，进行气脚的模态分析以获取气脚刚度；A4.确定气脚预载：对有限元模型进行静力学分析，获取气脚支撑处等效弹簧的总反力。本发明能够确保工作台达到设计要求的稳定性和机械性能；节约大量测量和样品试验所消耗的资源和时间；可以在概念和设计阶段，而未投入实际生产之前达到目的；实施要求低，便捷快速；能准确输出气脚的具体参数结论。

主权项

1、一种气脚支撑工作台的设计方法，该工作台中心对称，其中部设有双导轨及其配套滑块，其特征在于，包括步骤：A1、确定有限元模型：根据工作台建立相应实心长方体的几何形态，对所述几何形态进行实体网格划分形成实体单元，将材料属性定义给所述实体单元，根据工作台的实际情况确定所述实体单元的质量分布形成有限元模型；A2、确定气脚位置：改变气脚与对称中心的距离采样一组有限元模型，通过对所述有限元模型分别进行静力学分析，取其中变形分布最均匀的模型为此采样组最优化模型，反复上述获取每个采样组最优化模型的步骤以获取更优化的模型至获取符合精度需求的气脚位置；A3、确定气脚刚度：根据工作台的具体形态建立有限元模型，用等刚度值的弹簧单元取代所述有限元模型的刚性边界条件，在所述获取的有限元模型气脚位置处通过改变弹簧的刚度进行气脚的模态分析，通过所述模态分析获取气脚刚度的上限和下限；A4、确定气脚预载：对所述有限元模型进行静力学分析，获取气脚支撑处等效弹簧的总反力。