[发明专利]一种氧化锌薄膜太阳能电池的制备方法无效
| 申请号： | 200810220036.5 | 申请日： | 2008-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN101587917A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 黄庆举 | 申请（专利权）人： | 茂名学院 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C23C16/40;C23C16/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 525000广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明是一种氧化锌薄膜太阳能电池的制备方法，首先是衬底的选择和制备，比较理想的衬底材料是薄膜氧化铝薄膜，其厚度要小于6mm为最佳。其次是在衬底上直接沉积氧化锌薄膜，用HWCVD方法沉积薄膜的速度较快，约为3nm/s。沉积过程中衬底温度仅有230℃～350℃。制成的氧化锌薄膜太阳能电池的效率为20.7％，填补国内外空白。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 薄膜 太阳能电池 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锌薄膜太阳能电池的制备方法，首先是衬底的选择和制备，比较理想的衬底材料是氧化铝薄膜，其厚度要小于6mm为最佳；其次是在衬底上直接沉积氧化锌薄膜，用HWCVD方法沉积的薄膜沉积速度较快，约为3nm/s；沉积过程中衬底温度仅有230～350℃。制成的氧化锌薄膜太阳能电池的效率为20.7％。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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