[发明专利]一种工模具材料表面的TiAlN/TiN薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 200810220077.4 | 申请日： | 2008-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101435070A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 曾德长;陈灵;邱万奇;钟喜春;余红雅;林敏 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02;B32B9/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 51064*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工模具材料表面的磁过滤TiAlN/TiN薄膜及其制备方法，在工模具材料表面上采用磁过滤器首先镀覆一层磁过滤TiN薄膜，再镀覆一层磁过滤TiAlN薄膜，双层薄膜的总厚度为1～4μm。该磁过滤TiAlN/TiN薄膜制备时间短，成本低；有利于延长工模具的使用寿命，抗磨损性能好；而且镀膜的加工质量高；制备工艺简单，易于操作，在镀膜过程中采用电气和机械自动控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工模 材料 表面 tialn tin 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种工模具材料表面的磁过滤TiAIN/TiN双层薄膜，其特征在于：在工模具基体材料的表面上先镀覆一层磁过滤TiN薄膜，然后再镀覆一层磁过滤TiAlN薄膜，双层薄膜的总厚度为1～4μm。
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