[发明专利]透光单晶硅太阳电池的制造方法

摘要

本发明公开用于光伏-建筑一体化的透光单晶硅太阳电池的制造方法，包括将单晶硅棒分段，切割透光孔，腐蚀透光孔壁，扩散制得p-n结，去除晶片周边和透光孔周围的扩散层，去除磷硅玻璃，制减反射膜，制作电极，成为具有透光孔的单晶硅太阳能电池，用于制造双玻璃光伏-建筑组件太阳能电池之间可以相接而不留透光间隙，由透光孔实现透光，使双玻璃光伏-建筑组件较为美观，在光伏-建筑一体化(BIPV)领域可以得到大规模的商业应用。

主权项

1. 透光单晶硅太阳电池的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：A. 将单晶硅棒分切成长度小于160mm的硅柱，在氦气、氖气或氩气保护气氛中，根据透光孔的尺寸和布置要求，用激光或高压水刀对硅柱切割透光孔，用1～10wt％的NaOH水溶液腐蚀透光孔壁上30～70μm的损伤层；B. 将已经切割透光孔的硅柱切割成晶片，经表面研磨，绒化处理后，进行磷扩散制得p-n结；C. 刻蚀去除晶片周边和透光孔周围0.2～0.8mm的扩散层；D. 腐蚀去除磷硅玻璃，制减反射膜；E. 制作电极，成为具有透光孔的单晶硅太阳能电池。